Escoltar

La revista científica "Lab on a Chip" publica un article d'investigadors del Departament de Física de la UIB

El investigadors han fabricat i caracteritzat un sistema microelectromecànic que permet la detecció de variacions d’humitat amb una resolució de 0.005%RH

La prestigiosa revista científica internacional Lab on a Chip (Lab Chip) ha publicat recentment un treball d’investigadors del Grup de Sistemes Electrònics del Departament de Física de la Universitat de les Illes Balears on queda patent el gran potencial dels sistemes micro/nanoelectromecànics (MEMS/NEMS) com a sensors de gran resolució per detectar diferents variables físiques. En concret, la revista s’ha fet ressò dels resultats sense precedents en la detecció de variacions d’humitat utilitzant un ressonador MEMS metàl·lic integrat dins un microxip.

El ressonador MEMS esdevé un sensor d’alta sensibilitat gràcies a les seves dimensions sub-micromètriques. És un pont metàl·lic de 18 um de llargària i de menys d’una micra d’amplada i de gruix. Aquesta estructura mecànica ha estat fabricada i cointegrada dins un mateix xip de silici amb un circuit electrònic CMOS que permet l’actuació i la lectura elèctrica d’aquest sensor. Aquesta integració conjunta dels elements mecànics i electrònics aconsegueix disminuir el soroll del sistema, i ha permès obtenir experimentalment una resolució en la mesura d’humitat de 0.005 %RH, que és gairebé un ordre de magnitud millor que altres treballs publicats anteriorment. A més, a diferència d’altres sensors d’humitat, la fabricació d’aquest sensor no requereix la deposició de cap tipus de material higroscòpic i s’utilitza un procés tecnològic CMOS comercial, la qual cosa permet obtenir grans quantitats de dispositius sensors a baix cost i altament sensibles.

Els autors de l’article són Jaume Verd i Jaume Segura, del Grup de Recerca de Sistemes Electrònics del Departament de Física de la Universitat de les Illes Balears, Arantxa Uranga i Nuria Barniol, del Departament d’Enginyeria Electrònica de la Universitat Autònoma de Barcelona, i Marc Sansa i Francesc Pérez-Murano, de l’Institut de Microelectrònica de Barcelona (CNM-CSIC).

Referència bibliogràfica
J. Verd, M. Sansa, A. Uranga, F. Pérez-Murano, J. Segura and N. Barniol, «Metal microelectromechanical oscillator exhibiting ultra-high water vapor resolution», Lab Chip, vol. 11, pàg. 2670-2672, 2011, DOI: 10.1039/c1lc20103d

Documents relacionats

Data de publicació: 09/09/2011